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上海先进半导体选用ASML光刻工具-资讯CPU
文章来源：磨石机械网 | 2022-11-01
上海先进半导体选用ASML排插光刻工具-资讯
镍镉电池
ASML Holding NV公司近日宣布，最近接到中国晶片代工厂家上海先进半导体制造有限公司(ASMC)三套200-mm光刻系统的订单。 ASM枝江C选购了两套PAS 5500/250s系统和一套PAS 5500/300系统，作为其新200mm晶片工厂专有的光刻工具。该公司透露ASML系统将在批量生产中用于在晶片上对250纳米电路特性进行成像。 ASMC公司的营运副总裁Gao Zhou Miao认为：“ASML的光刻工具将帮助我们新工厂达到生产率目标。” ASML公司还在2002年12月向中国无游标卡尺锡的芯片制造商华晶微电子股份有限公司销滚筒筛售产品。 （编辑 汪风）
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